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レーザーテック、DRAMメーカーにもEUV検査装置納入-社長

更新日時
  • EUV技術、ロジックからDRAMへ広がり「好機」と岡林氏
  • EUV対応のフォトマスク欠陥検査装置では世界シェア100%を握る

半導体検査装置メーカー、レーザーテックの岡林理社長は、製造過程で極端紫外線(EUV)露光技術を採用するDRAMメーカー向けに、検査装置の納入を開始したことをインタビューで明らかにした。微細化により記憶容量の増大に取り組む世界の主要メーカーへの納入拡大に期待する。

Lasertec ACTIS A150
レーザーテック社の「ACTIS A150」
Source: Lasertec Corp.

  岡林社長によると、検査措置は前期(2021年6月期)に受注した。EUVは最先端の半導体生産に欠かせない技術で、演算処理を行うロジック半導体などで既に採用が広がっている。岡林社長はデータの一時保存に使うDRAMの生産にも採用され始めたことは「われわれにとってはいいことだ」と述べた。 

  レーザーテックはEUV光源を使ったマスク欠陥検査装置でシェア100%を握る。EUV技術はロジック半導体の生産で台湾積体電路製造(TSMC)と韓国のサムスン電子、米インテルの3社が既に採用。DRAMの量産ではサムスンとSKハイニックスが取り入れた。米マイクロンも導入計画を発表した。

  レーザーテックの株価は8日の取引で、一時前日比5%高の2万4850円まで買われ、9月8日(7.4%高)以来1カ月ぶりの日中上昇率となった。 

  レーザーテックの最新の有価証券報告書によると、TSMC、サムスン、インテルの3社向けの売り上げ比率が約6割を占めている。

  岡林社長は今期(22年6月期)の業績について、「今のところ、見込んでいるものは大丈夫と思っている」と述べた。同社では営業利益が前期比3.6%増の270億円、受注高は42%増の1600億円を計画している。岡林社長は東南アジアの新型コロナウイルス感染再拡大や中国の電力不足などの影響を注視していく姿勢を示した。

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(レーザーテックの株価動向を追加して更新します)
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