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ルネサス那珂工場の火災、一部装置に被害-めっき装置から出火

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ルネサスエレクトロニクスは20日、那珂工場(茨城県ひたちなか市)で19日未明に発生した火災で、生産ラインの設備や装置に被害が出ていると発表した。

  発表によると、同工場のN3棟(300ミリメートルライン)の純水供給装置や空調装置など一部の用役設備や製造装置に被害が出ているという。建屋の被害はない。

  また警察と消防による現場検証で、出火元は生産ラインの工程にあるめっき装置だと特定された。同装置で過電流が発生したことで発火したとみて、原因などを調査している。この火災ではN3棟の全製造装置の約2%、11台の装置が被災しており、面積では1万2000平方メートルのクリーンルームの約5%相当が焼損したという。

  火災は19日午前2時47分ごろに発生し、同8時12分ごろに鎮火した。従業員の人的被害はない。N3棟は生産を停止しており、再開のめどは分かり次第発表する。仕掛品の被害や業績への影響についても精査中としている。N2棟(200ミリメートルライン)とウエハーのテスト工程が入るWT棟は稼働しており、製品の出荷も継続している。

  

(火災の出火元などの情報を追加して記事を更新します)
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