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Photographer: Krisztian Bocsi/Bloomberg

レーザーテックの新型半導体検査装置、「複数社から引き合い」-社長

  • サムスンやTSMCがEUVLを使った半導体を量産
  • 株価は昨年末に比べ約2.4倍の7000円と上場来高値水準
A machine places single solder balls onto a printed circuit board (PCB) during manufacture at the Infineon Technologies AG microchip and sensor facility in Regensburg, Germany, on Wednesday, Feb. 17, 2016. Infineon designs, manufactures and markets semiconductors for the automotive, industrial, communications, consumer and security electronics sectors.
Photographer: Krisztian Bocsi/Bloomberg

半導体検査装置メーカー、レーザーテックの岡林理社長は、極端紫外線露光(EUVL)と呼ばれる微細化技術向け新型機について「複数社からの引き合いがある」とし、追加受注に期待を示した。

  岡林社長は2017年9月に半導体メーカー1社から160億円で受注していたことを明らかにした上で、スマートフォンなど5G(次世代通信規格)関連向けに半導体を製造するメーカーからの関心も高いと述べた。具体的な社名の言及は控えた。同社は9月に世界で初めて、回路焼き付けに使うマスクをEUVL技術で検査する装置を完成させた。

昨年末を100として算出

  EUVL技術を使った半導体は、韓国のサムスン電子や台湾積体電路製造(TSMC)が量産に取り組むほか、米インテルも計画する。岡林社長は韓国のSKハイニックスや米マイクロン・テクノロジーも続く可能性があるとの認識を示し、「全てがポテンシャルカスタマー」になり得ると述べた。

  レーザーテックは13年以降、EUVL関連の検査装置をライバルに先駆け製品化。17年にはマスクの原板となるマスクブランクス検査装置の販売を開始した。今期(20年6月期)のEUVL関連売上高は前期比約2.5倍の176億円を見込み、全体の4割強を占める。

  スマホの高機能化や自動運転の実現の鍵を握る5G技術向けに、半導体の微細化に向けた開発競争が続いている。EUVL技術を使えばウエハーにより細い回路を描くことができる。

  4日の株価は一時7000円と上場来高値を付け、昨年末に比べ約2.4倍の水準。年初来の上昇率は東証1部の電気機器銘柄158社の中で首位だった。岡林氏は株価について「市場の決めること」としながら、EUVLについても「3年前はどうなるか分からなかった。過去にまいた種がやっと収穫できるようになってきた」と語った。 

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