三菱マテ:半導体向けシリコン製造工場で爆発-5人死亡

三菱マテリアルの三重県にある四日 市工場で9日午後2時10分ごろ、爆発事故があった。三重県警広報室に よると、同3時57分現在で5人の死亡を確認したほか、負傷者12人のう ち9人は軽傷という。死傷者の身元は調査中。

同工場では半導体生産に使うシリコン・ウエハーの原料である多結 晶シリコンを生産している。水冷熱交換器を取り外し、中を洗浄してい る最中に水とポリマーが化学反応を起こして水蒸気爆発したのではない かと、同県警ではみている。

三菱マテリアル・広報担当の北村卓也氏によると、事故による生産 設備への影響は現在確認中。同工場で生産した多結晶シリコンの大部分 はSUMCO向けに納入しているという。

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