ニコン牛田専務:最先端露光装置、来期販売は10倍以上を計画

半導体露光装置メーカー世界2位 のニコンは17日、最新機種の液浸露光装置の販売について来期(2011 年3月期)に10-15台を計画していることを明らかにした。今期(10 年3月期)は1台。

露光装置など精機事業を統括する牛田一雄専務は同日の投資家向 け技術説明会で、最新機種「NSR―S620」の来期の販売につい て「10台後半は無理だが、10台前半なら可能」と述べた上で、12年 3月期には20数台を売り上げることで事業の黒字化が実現できると の見通しを示した。

「NSR―S620」は露光装置の戦略機種で、昨年後半に出荷 を始めた。2回露光(ダブルパターニング)と呼ぶ新技術に対応し、 スループット(1時間当たりのウエハー処理枚数)も高いパフォーマ ンスを実現し、生産性が向上した。今期の精機事業の営業損益予想は 580億円の赤字(前期は80億円の黒字)で、同機種は精機事業の黒字 化をけん引するとして期待されている。

液浸露光装置の分野では、露光装置メーカー最大手のオランダの ASMLと、ニコンの2強が激しい競争を繰り広げている。09年の液 浸露光装置の世界シェアはASMLが57%と過半を握り、ニコンは2 位の39%。牛田専務は「新製品で差をつけてシェアを拡大したい」と 語った。

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